發(fā)布時間:2021-04-21
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PVD、CVD 表面處理方法,由于采用陶瓷、類金剛石鍍膜(DLC)等超硬質(zhì)皮膜鍍敷技術(shù),被廣泛用于要求良好耐摩擦、抗氧化、耐滑動的部件制造。在這方面,關(guān)于超硬質(zhì)皮膜與母材密著性的研究,使超硬質(zhì)皮膜與母材密著性有飛躍性提高,對超硬質(zhì)皮膜的廣泛應(yīng)用起了很大作用。超硬質(zhì)皮膜的代表性用途是提高切削刀具、模具以及各種零部件的性能和耐久性。現(xiàn)在,關(guān)于超硬質(zhì)皮膜與母材密著性的研究仍十分活躍。
今后仍將對提高高功能化表面改質(zhì)皮膜的膜種和膜質(zhì)進(jìn)行深入研究。其中復(fù)合皮膜的研究引人注目。例如,緩解殘余應(yīng)力和提高密著性的復(fù)合皮膜就是這種皮膜。此外,出現(xiàn)了多層膜、多元膜的成膜和納米積層膜等皮膜結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的發(fā)展動向。預(yù)計,氮化和氣相沉積的復(fù)合表面改質(zhì)技術(shù),在提高模具和汽車部件的耐久性和高功能化方面,將會有進(jìn)一步的發(fā)展。